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在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)是一種非常重要的設(shè)備,用于清潔和處理半導(dǎo)體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來去除表面的有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì),同時可以改變表面的化學(xué)性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)主要用于以下幾個方面:1、清洗表面:在半導(dǎo)體器件的制造過程中,表面往往會被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會影響器件......
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X射線光電子能譜分析X射線光電子能譜法(X-rayPhotoelectronSpectrom-----XPS)在表面分析領(lǐng)域中是一種嶄新的方法。雖然用X射線照射固體材料并測量由此引起的電子動能的分布早在本世紀(jì)初就有報(bào)道,但當(dāng)時可達(dá)到的分辯率還不足以觀測到光電子能譜上的實(shí)際光峰。直到1958年,以Siegbahn為首的一......
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優(yōu)勢一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率;二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害,同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。......
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科普篇|X射線熒光光譜儀相關(guān)專業(yè)名詞解釋一(Xrf)1.XRFXRF是指X射線熒光光譜分析。X射線熒光分析是確定物質(zhì)中微量元素的種類和含量的一種方法,又稱X射線次級發(fā)射光譜分析,是利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子,使之產(chǎn)生次級的特征X射線(X光熒光)而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研究。XRF優(yōu)點(diǎn):對于已......
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等離子清洗機(jī)(plasmacleaner)也叫等離子清潔機(jī),或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性......