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plasma清洗機(jī)在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)是一種非常重要的設(shè)備,用于清潔和處理半導(dǎo)體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來(lái)去除表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)雜質(zhì),同時(shí)可以改變表面的化學(xué)性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)主要用于以下幾個(gè)方面:1、清洗表面:在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中,表面往往會(huì)被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會(huì)影響器件......
原子力顯微鏡是一種可用來(lái)研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過(guò)檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來(lái)研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。Bruker原子力顯微鏡是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,于2015年9月11日啟用。物理學(xué)中,AFM可以用于研究金屬和半導(dǎo)體的表面形貌、表面重構(gòu)、......
賽默飛X射線衍射儀是進(jìn)行X射線分析的重要設(shè)備,主要由X射線發(fā)生器、測(cè)角儀(測(cè)量角度2θ的裝置)、記錄儀(測(cè)量X射線強(qiáng)度的計(jì)數(shù)裝置)和水冷卻系統(tǒng)組成。X射線發(fā)生器主要由高壓控制系統(tǒng)和X光管組成,它是產(chǎn)生X射線的裝置。X射線衍射儀(XRD)是利用衍射原理,精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,精確地進(jìn)行物相分析,定性分析,定......
在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中,無(wú)油渦旋真空泵與其他種類的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn):①.無(wú)油,無(wú)摩擦——真空腔內(nèi)無(wú)油,非接觸,無(wú)磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;②.抽氣量大——雙渦旋盤(pán),結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源;③.抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏......
原子力顯微鏡是一種可用來(lái)研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過(guò)檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來(lái)研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。Bruker原子力顯微鏡是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,于2015年9月11日啟用。在薄膜技術(shù)中的應(yīng)用隨著膜技術(shù)的蓬勃發(fā)展,人們力圖通過(guò)控制膜的表......
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