Bruker布魯克 JV-DX X射線衍射儀 XRD

——X射線測(cè)量滿足您的研發(fā)需求

Jordan Valley 的 Delta-X 是用于材料研究、工藝開發(fā)和質(zhì)量控制的新一代柔性 X 射線衍射儀器。 該系統(tǒng)具有全自動(dòng)源和檢測(cè)器光學(xué)元件以及水平樣品安裝，可以在*計(jì)算機(jī)/配方控制下在標(biāo)準(zhǔn)和高分辨率 X 射線衍射和 X 射線反射率模式之間切換，而無(wú)需手動(dòng)更改配置。 這可確保每次使用佳工具配置，而無(wú)需專家設(shè)置工具以供使用。

• 樣品的自動(dòng)校準(zhǔn)、測(cè)量和分析
• 測(cè)量的自動(dòng)化程度由用戶定義
• 使用 300 毫米歐拉支架實(shí)現(xiàn)高精度樣品定位和掃描
• 全300mm 晶圓水平貼裝和映射
• 由于 100° 傾斜 (Chi) 和無(wú)限方位角旋轉(zhuǎn) (Phi)，可以進(jìn)行極點(diǎn)圖和殘余應(yīng)力測(cè)量
• 根據(jù)請(qǐng)求的測(cè)量進(jìn)行智能自動(dòng)工具對(duì)齊和重新配置
• 行業(yè)領(lǐng)-先的設(shè)備控制和分析軟件
• 使用高分辨率測(cè)角儀進(jìn)行準(zhǔn)確和精確的測(cè)量
• 高強(qiáng)度光源和光學(xué)元件可實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量
• 可用的技術(shù)和參數(shù)范圍廣泛
• 由擁有 30 多年經(jīng)驗(yàn)和龐大的全球安裝基礎(chǔ)的高分辨率 X 射線衍射領(lǐng)域的專家打造

自動(dòng)源和檢測(cè)器階段

• 光源光學(xué)器件的開發(fā)考慮到了易用性和最佳性能。 所有系統(tǒng)均標(biāo)配平行光束多層反射鏡，可提供適用于 XRR 和 XRD 測(cè)量的高強(qiáng)度光束。
• 為了啟用HRXRD，可以安裝一系列晶體光學(xué)器件，以涵蓋從8" (Ge 004) 到 >40" (Ge 111) 的分辨率。 可根據(jù)要求提供定制晶體。
• 它們會(huì)自動(dòng)切換進(jìn)出光束路徑，以便能夠在同一自動(dòng)測(cè)量批次中覆蓋適用于不同基板類型和不同技術(shù)的光束配置。 與其他系統(tǒng)不同，無(wú)需手動(dòng)從系統(tǒng)中移除鏡子或晶體，以確保它們不會(huì)損壞或錯(cuò)位。

高分辨衍射儀 & X 射線反射率

高分辨率 XRD 是第一原理測(cè)量，可以確定外延層的厚度、成分、松弛、應(yīng)變、摻雜劑水平和誤切

•直接測(cè)量多層結(jié)構(gòu)內(nèi)層的松弛/應(yīng)變/組成
•在需要時(shí)將三軸分析儀晶體自動(dòng)插入和對(duì)齊到光束中
•自動(dòng)樣品校準(zhǔn)、測(cè)量、分析和報(bào)告
•倒數(shù)空間圖在幾分鐘內(nèi)完成并使用PeakSplit 進(jìn)行分析
•可以使用模擬雙軸和三軸衍射掃描
• JV-RADS分析軟件

X 射線反射率 (XRR) 是第一原理測(cè)量，可以確定薄膜的厚度、密度和粗糙度

•第一原理，無(wú)損測(cè)量
• XRR 對(duì)材料質(zhì)量不敏感，因此層可以是非晶、多晶或外延層
•金屬、氮化物、氧化物、有機(jī)物、聚合物……
•自動(dòng)樣品校準(zhǔn)、測(cè)量、分析和報(bào)告
•厚度范圍從 1nm 到 1µm，取決于吸收

分析軟件

JV-DX 系統(tǒng)上使用的分析軟件套件以 30 年的 X 射線表征和薄膜計(jì)量經(jīng)驗(yàn)為基礎(chǔ)。 基于在 Bede Scientific 的分析軟件套件中，JV-DX 分析包包括行業(yè)領(lǐng)-先的高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD)、X 射線反射率 (XRR) 和 XRD 軟件模擬軟件。

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