控制系統(tǒng)

手動控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路或三路氣體

工藝氣體

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

單體導(dǎo)入

H2O，親疏水涂層等單體（選配）

流量計(jì)

針閥流量計(jì)（防腐蝕）

MFC流量計(jì)（防腐蝕）

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃/石英

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

不銹鋼

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

鋁合金

鉸鏈門

圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm

150×320(600) *1

130×300( 600) *1

—

方形腔體內(nèi)尺寸  （W×D×H）mm

—

160×325( 600) *1×160mm

150×325（600）*1×160

容積

5.6L~10.6L

8L~15L

7.8L~14L

電極

360度外置環(huán)繞電極

平行平板電極

發(fā)生器*

40 kHz     0-200W

100 kHz    0-500W

13.56 MHz  0-50W 或者 0-100W 或者0-300W

2.45 GHz   0-300W

真空壓力計(jì)

指針式壓力計(jì)

皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)

計(jì)時(shí)器

模擬數(shù)字式

數(shù)字式

托盤

高硼硅玻璃，石英，不銹鋼，鋁合金

外形尺寸（WXDxH）mm

560x600-750x460-860mm

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度不小于8m3/H